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基礎(chǔ)知識(shí):激光驅(qū)動(dòng)白光光源

點(diǎn)擊次數(shù):60  更新時(shí)間:2025-09-01

在光譜分析領(lǐng)域,光源性能往往是決定檢測(cè)精度與應(yīng)用范圍的關(guān)鍵因素。傳統(tǒng)光源如鹵素?zé)簟㈦療舻仍诹炼?、光譜范圍和壽命上的局限性,長(zhǎng)期以來(lái)制約著高&端光譜應(yīng)用的發(fā)展。

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激光驅(qū)動(dòng)白光光源(LDLS,奧譜天成ATG7500系列),以前沿的激光泵浦技術(shù)與等離子體發(fā)光機(jī)制,徹&底&顛&覆了傳統(tǒng)光源的性能邊界,為半導(dǎo)體檢測(cè)、生命科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域帶來(lái)了革命性的解決方案。





01 技術(shù)原理:從電致發(fā)光到激光驅(qū)動(dòng)



激光驅(qū)動(dòng)白光光源(Laser Driven Light Source),簡(jiǎn)稱為 LDLS,是一款借助高能聚焦激光束驅(qū)動(dòng)氙燈離子體的超高亮寬光譜光源。此系列產(chǎn)品能夠在 170 納米至 2100 納米的光譜區(qū)間內(nèi),展現(xiàn)出超高的發(fā)光亮度。

舉例來(lái)說(shuō),在 DUV+(170 - 300 納米)波段,其亮度是氙燈等傳統(tǒng)光源的 10 倍有余。并且,相較于傳統(tǒng)光源,該光源的發(fā)光壽命大幅提升,整整高出一個(gè)數(shù)量級(jí),達(dá)到了超過(guò) 9000 小時(shí)。

圖片

ATG7500 系列光源的核心優(yōu)勢(shì)源于其獨(dú)&特的工作原理。傳統(tǒng)電致發(fā)光光源依賴電極放電激發(fā)氣體發(fā)光,而 LDLS 采用激光泵浦等離子體技術(shù):通過(guò) 65W/30W 激光束聚焦激發(fā)氙氣介質(zhì),形成直徑僅 100μm 量級(jí)的高能等離子體。當(dāng)電子在激光激發(fā)下躍遷至高能級(jí)再返回基態(tài)時(shí),會(huì)釋放覆蓋 190-2500nm 的寬光譜光子。

這種無(wú)電極驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)帶來(lái)了三大突破:

  • 亮度提升 10 倍以上:在深紫外波段(170-300nm),ATG7500 的光譜輻射亮度可達(dá) 185mW/(mm2?sr?nm),遠(yuǎn)超氙燈等傳統(tǒng)光源

  • 壽命延長(zhǎng)至 10000 小時(shí):避免了電極損耗,耗材成本降低 70% 以上

  • 光譜穩(wěn)定性達(dá) 0.15% STD:等離子體質(zhì)心位置波動(dòng)小于 0.15μm,確保長(zhǎng)期測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性



02   三大性能優(yōu)勢(shì)


  • 超寬光譜覆蓋與平坦分布

ATG7500 系列實(shí)現(xiàn)了從紫外(190nm)到近紅外(2500nm)的全波段覆蓋,且光譜功率密度分布均勻。對(duì)比數(shù)據(jù)顯示,其深紫外波段強(qiáng)度是傳統(tǒng)氘燈的10倍以上,在半導(dǎo)體光刻膠檢測(cè)、紫外光譜成像等場(chǎng)景中,能提供更精準(zhǔn)的吸收與散射。

  • 高亮度點(diǎn)光源與高效耦合

175μm×415μm的等離子體尺寸,使其成為理想的百微米級(jí)點(diǎn)光源。配合 0.4-0.6NA 的數(shù)值孔徑,可高效耦合至600μm光纖(耦合效率>0.53W)或光譜儀狹縫,特別適合微芯片、生物細(xì)胞等精密樣本的成像與分析。

  • 長(zhǎng)壽命與低維護(hù)成本

傳統(tǒng)氙燈壽命通常僅 1000-2000 小時(shí),而ATG7500系列通過(guò)無(wú)電極設(shè)計(jì),將光源壽命提升至10000 小時(shí)以上。這意味著校準(zhǔn)間隔延長(zhǎng)5倍,顯著降低了科研與工業(yè)應(yīng)用中的維護(hù)成本。



03   應(yīng)用場(chǎng)景




  • 生命科學(xué)和生物成像

  • 光譜儀&單色儀光源

  • 半導(dǎo)體檢測(cè)

  • 紫外光譜成像



04   奧譜天成ATP7500系列


ATG7500豐富型號(hào)參數(shù)可供選擇:

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